半導體品管不可不知的超微量分析前處理技術!

半導體品管不可不知的超微量分析前處理技術!

Published On: 2025-03-200.4 min read
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在半導體無機超微量分析的領域,即使是微小的污染也可能對關鍵數據產生重大影響,這使得分析前處理的工作成為確保結果準確性的重要環節。

因此,如何降低背景干擾、提升分析靈敏度,並有效利用自動化技術來提升實驗效率,成為每個分析實驗室面臨的挑戰。

掌握前處理工作的關鍵要素如容器材質、容器清潔及試劑潔淨度,能有效確保分析的準確性,從而提高品管工作的效率,最終提升產品的可靠性與良率。

半導體無機分析前處理方案

  • 超高純度PFA鐵氟龍材質,
    具備極低金屬背景
  • 適用各廠牌ICP,涵蓋霧化器、
    進樣系統 (Inert Kits)等PFA耗材
  • 耐高溫、耐強酸鹼,確保樣品潔淨度
  • 自動化製備,可提高酸純度達到Single ppt等級
  • 擺脫市售純酸開封後的污染風險
  • 操作簡單,維護成本低,降低酸液購買成本
  • 全自動鎖瓶、抓取樣品,提升方法開發/消化的效率及安全性
  • 消化狀況一目了然,搭配即時攝影可觀測樣品消化狀況
  • 最快五分鐘完成一個樣品消化
  • 酸洗、水洗、烘乾一鍵完成
  • 適用所有超微量分析相關容器
  • 智慧化控制,降低人力時間成本

密閉式 / 微波濃縮設備

  • 適用元素含量較低之樣品,透過濃縮提升元素分析率
  • 密閉式濃縮減少元素損失
  • 移除高危害酸,無需再擔心氫氟酸的危害
  • 適用多種樣品,不侷限在酸鹼

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